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切割机用超小型纯水循环再利用设备“DWR系列”

优点5: 来自切割机的排水为零
导入DWR的优点×10
5. 来自切割机的排水为零
在切割中,用于切割刀片冷却、晶片洗净的纯水是必不可少的,一般的切割机需要以10L/min左右的速度把使用后的切削水排出。因此,在设置切割机时,需要把排水汇集到工厂内纯水循环系统的排水口和专用的管道设备,在没有排水口的地方无法使用切割机。
而且,在一般的循环型纯水系统中,采用错流方式的过滤器去除微粒,循环时会有10%左右的废水产生。这些废水包含硅碎屑等成分的浓缩废液,有时无法直接排入下水道。
DWR只需设置于切割机的旁边就可以将切削排水全部循环再利用。无需回收废水用的管道,因此不必选择设备的安装位置。另外,独自开发的CC Filter采用死端过滤方式去除微粒,99.5%的排水可循环再利用,剩余的0.5%由于雾化被排气管道吸走,因此纯水循环再利用时无废液产生。
循环型纯水系统 DWR
管道设备 必要 不要
过滤方式 错流方式 死端过滤方式
过滤器结构

另外在DWR中,含有被脱水、浓缩的切削碎屑的CC Filter可以作为一般工业废物进行处理,大幅度削减废弃物处理所需的时间和成本。并且,CC Filter自身不含有需要特殊处理的材料,即使进行焚烧也不会产生二噁英等有毒物质。根据切削排水中含有的晶片加工碎屑的材质,能够做为工业废物进行处理。

即使在加工GaAs等毒性高的晶片时的切削水也可以通过CC Filter回收,无需进行特殊的废液处理。另外,切削水中含有的稀有金属也可以通过CC Filter进行回收。具有这些功能的DWR就可有效解决在传统设备中排水处理这一难题。

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