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切割机用超小型纯水循环再利用设备“DWR系列”

优点7: 搬迁简单
导入DWR的优点×10
7. 搬迁简单
与切割机一起搬迁
在Si晶片切割中会大量使用纯水。因此,在工厂之间搬迁切割机时,必须保证纯水的供给环境。
纯水循环系统是大型系统,一般情况下不会搬迁。即使仅搬迁纯水制造设备、过滤设备等机器,也需要新建纯水供给、排水回收管道以及回收水箱等,想要降低成本是非常困难的。
但是DWR尺寸小,所以不仅是在日本国内,甚至向海外都很容易与切割机配套进行搬迁。可实现使用与搬迁前同品质的纯水进行加工。只要排水和更换过滤器等简单操作便可进行撤机,设备的重新启动使用也只需半天~1天的时间。
工厂内的安装自由度
DWR能够将切割机的切削排水接近于100%的纯水循环再利用,切削排水为零,因此无需大型纯水循环系统中的回收排水的管道。只需切割机和DWR就可构筑独立的纯水供给环境,到目前为止纯水供给困难的区域也能够安装切割机。
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