週邊設備是指與切割機和研磨機配合使用的設備。
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| 超音波切割機構 |
使用專用刀片，可進行超音波援用加工的機構。 |
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| DWR1720 |
同時擁有製造純水、調節水溫、過濾、處理廢液功能的純水循環裝置。 |
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| DTU152 |
矽晶片的加工(切割水供應方式: 排放式) |
| DTU1531 |
| DTU162 |
電子元件的加工(切割水供應方式: 循環式) |
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| 二氧化碳溶解器 |
抑制因切割中使用切割水(純水)而導致的污染微粒粘附以及由靜電造成的不良影響。 |
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| DCS1440 |
對切割後的矽晶片、玻璃基板及陶瓷等加工物進行清洗。 |
| DCS1460 |
| DCS141* |
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