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產品介紹
超音波切割機構 -Ultrasonic-wave Dicing Unit-
超音波切割機構使用專用刀片,可進行超音波援用加工。也可附加在原有的切割機上。(對象機型有限制)
利用超音波振動可降低加工負荷,從而可實現高效率的加工。
實現SiC、玻璃、氧化鋁陶瓷等難削材料的高品質、高速切斷加工。
超音波切割機構用刀片 U09系列
備有所有結合劑材料的超音波切割機構用刀片。
對任何素材都可實現超音波援用加工。
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精密加工装置
切割機(Dicing and Cutting Saw)
雷射切割機(Laser Saw)
研磨機(Grinder)
拋光機(Polisher),
乾式蝕刻機(Dry etcher)
多功能晶片框架粘貼機机(Wafer Mounter)
分離擴片機(Die Separator)
鉋平機(Surface Planer)
水刀切割機(WaterJet Saw)
適用於新製程的產品
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切割刀片
研磨輪
乾式拋光輪
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