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產品介紹


乾式拋光輪

該產品安裝在拋光機上,可去除背面研磨加工後殘留的細微研磨條痕(消除加工應力),並同時實施「Migaku(拋光)」加工。

安全使用說明
關於極限轉速

系列 加工對象 特點
DP系列 DP
系列
矽晶片、其他材料 該拋光輪可在不使用水、化學研磨液的條件下,利用乾式研磨方式對加工物實施鏡面加工及消除應力加工。
DP08系列 DP08
系列
矽晶片、其他材料 新開發的乾式抛光輪。除了可以進行一般的晶圓抛光外,還可以用於DBG技術
GetteringDP Gettering
DP
矽晶片、其他材料 利用乾式拋光技術,兼顧去疵性和高抗折強度。


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