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UltraPoligrind

UltraPoligrind
UltraPoligrind採用超細微鑽石磨粒,實現比Poligrind更低的研磨破壞、更高的抗折強度。此外,即使經過應力消除製程,UltraPoligrind新型研磨輪仍可維持去疵性不降低。不使用化學物質的一般研磨加工,可減輕環境負荷、簡化製程的薄化研磨方案。

特 點
  • 減少對晶圓的破壞,實現高抗折強度
  • 維持與一般研磨相同的去疵性
下載產品目錄
詳細的使用方式與機能等,請查閱目錄。
UltraPoligrind 產品目錄 (PDF:702KB)
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