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解決方案


切割機用超小型純水循環再利用設備“DWR系列”

優點5: 切割機零排水
導入DWR的優點×10
5. 切割機零排水
在切割中,用於切割刀片冷卻、晶圓洗淨的純水是不可或缺的,一般的切割機需要以10L/min左右的速度把使用後的切削水排出。因此,在設置切割機時,需要把排水匯集到工廠內純水循環系統的排水口和專用的管道設備,在沒有排水口的地方則無法使用切割機。
此外,在一般的循環型純水系統係採用錯流(Cross Flow)方式的過濾器去除微粒,循環時會有10%左右的廢水產生。這些廢水包含矽碎屑等成分的濃縮廢液,有時無法直接排入下水道。
DWR只需設置於切割機的旁邊就可以將切削排水全部循環再利用。無需回收廢水用的管道,因此不必選擇設備的安裝位置。另外,獨自開發的CC Filter採用封鎖(Dead-end)過濾方式去除微粒,99.5%的排水可循環再利用,剩餘的0.5%由於霧化被排氣管道吸走,因此純水循環再利用時無廢液產生。
循環型純水系統 DWR
管道設備 必要 不要
過濾方式 錯流方式 封鎖過濾方式
過濾器結構

另外在DWR中,含有被脫水、濃縮的切削碎屑的CC Filter可以作為一般工業廢物進行處理,大幅度削減廢棄物處理所需的時間和成本。並且,CC Filter自身不含有需要特殊處理的材料,即使進行焚燒也不會產生戴奧辛等有毒物質。根據切削排水中含有的晶圓加工碎屑的材質,視情況能夠做為工業廢物進行處理。

即使在加工GaAs等毒性高的晶圓時的切削水也可以通過CC Filter回收,無需進行特殊的廢液處理。另外,切削水中含有的稀有金屬也可以通過CC Filter進行回收。因以上諸多功能,DWR可有效解決在傳統設備中排水處理這一難題。

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