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切割機用超小型純水循環再利用設備“DWR系列”

優點7: 搬遷簡單
導入DWR的優點×10
7. 搬遷簡單
可與切割機一起搬遷
在Si晶圓切割中會大量使用純水。因此,在工廠之間搬遷切割機時,必須保證純水的供給環境。
純水循環系統是大型系統,一般情況下不能搬遷。即使僅搬遷純水制造設備、過濾設備等機器,也需要新建純水供給、排水回收管道以及回收水箱等,想要降低成本是非常困難的。
但是DWR尺寸小,所以不僅是在日本國內,甚至向海外與切割機配套進行搬遷也很容易。可實現使用與搬遷前同品質的純水進行加工。只要排水和更換過濾器等簡單操作便可進行撤機,設備的重新啟動使用也只需半天~1天的時間。
工廠內的安裝自由度
DWR能夠將切割機的切削排水接近於100%的純水循環再利用,切削排水為零,因此無需大型純水循環系統中的回收排水的管道。由於只需切割機和DWR就可構築獨立的純水供給環境,所以到目前為止純水供給困難的區域也能夠安裝切割機。
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