DISCO
Japanese Chinese Traditional Chinese Simplified Korean English
サイトマップ
会社情報 株主・投資家情報 CSR情報 採用情報
HOMEニュースリリースソリューション製品情報カスタマーサポートお客さまの満足のためにお問い合わせ
ディスコHOME > ニュースリリース

ニュースリリース


プレスリリース


2005年4月25日
超音波によるダイシングアプリケーションの開発

株式会社ディスコ(本社:東京都大田区、社長:溝呂木斉)は、電子部品や光部品に対応する新たなアプリケーションの提供のために超音波加工対応が可能なダイシングスピンドルを開発しました。今回開発しましたこのスピンドルは、オートマチックダイシングソーDAD3350(写真)にオプションにて搭載可能とし、将来的には同スピンドルの適用可能な装置ラインアップを拡張していく予定です。
DAD3350
製品の開発概要
オートマチックダイシングソーは、半導体ウェーハの加工のみならず、近年では電子部品(セラミックチップ部品)や光学部品(光学ディスク部品、光通信部品)などの多様な素材の生産に用いられるようになっております。
今回当社が新たに開発いたしました超音波振動スピンドルは、こういった様々な被加工物に対して、超音波振動をブレードに与えることにより、従来ではレジンブレード以外での切断が困難だった被加工物などをメタルブレードで切断可能としました。※1
メタルブレードを使用することにより、ブレードライフ・加工スピードの向上が図れます。

※1 メタルブレードでの切断が可能になった被加工物の詳細については、以下お問い合わせ先までお問い合わせ下さい。


超音波加工の特徴

●今までメタルブレードでの加工が困難だった被加工物の加工が可能
【例:#2000 石英、水晶  #1000 アルミナ(Al2O3)、銅板 etc】
メタルブレードが使用可能になることによるメリット
  1. 薄いブレードの使用が可能になる
2. 加工品品質の向上(従来の砥粒径より細かい砥粒で加工が可能)
3. 加工スピードのアップ(加工負荷が少ない)
4. ブレードの消耗が少ない

<石英の加工例>
超音波OFF
Cut speed : 1 mm/sec
超音波ON
Cut speed : 6 mm/sec

●ブレードの目詰まり※2防止
超音波振動の作用により、刃先部への異物の付着による目詰まりを改善しました。
※2 目詰まり
刃先部に、テープの切り粉や、ウェーハ上の金属などが付着することによって砥粒が覆われ、正常な切断ができなくなる現象


●ブレードの目潰れ※3の改善
従来のブレードダイシングにおいて、ワークによっては、砥粒の保持力が高いブレードを使用した場合、砥粒の目潰れが発生し、加工不良の原因になっておりましたが、超音波振動の作用により、砥粒の目潰れについても改善の効果が見られ、従来にない加工品質を得る事が可能となります。
※3 目潰れ
適切な加工が出来ていないため、刃先部の砥粒の突き出しが摩滅して(すり減って)しまい、正常な切断ができなくなる現象
超音波OFF 超音波ON

以 上

お問い合わせ先
本件に関するお問い合わせは以下の連絡先までお願いいたします。
株式会社ディスコ
経営企画本部
経営戦略グループ 広報企画チーム
Phone: 03-4590-1090 Fax: 03-4590-1094
ニュースリリース

レーザエンジニア募集中(キャリア採用)
個人情報保護方針
利用規約
弊社の社名利用について
古物営業法に基づく表示
弊社製品の使用に対する補償ポリシー
このページのトップへ