ニュースリリース

プレスリリース

2005年11月21日

ダイシングブレードの交換作業を全自動で行うオートブレードチェンジャーを開発

（株）ディスコ（本社：東京都大田区、社長：溝呂木斉）は、フルオートマチックダイシングソー向けに、ダイシングブレードの交換作業を全自動で行う「オートブレードチェンジャー」を開発しました。 2005年12月7～9日に開催されるセミコンジャパン2005に参考出展し、2006年6月より出荷を開始いたします。

製品開発の背景

電子機器の高機能化、高付加価値化が進むにつれ、半導体デバイス製造におけるダイシングソーに求められる要求は、加工品質の向上と共に生産コストの低減がますます重要なポイントになっています。
φ300 mmウェーハラインでは自動化が推進されており、対象となる工程も拡大しています。しかし、ダイシング工程においては、メンテナンスとしてのブレード交換作業がオペレータによる手作業に頼っており、ダウンタイムの短縮化や自動化推進への妨げの一つになっていました。稼働中のメンテナンスに要するダウンタイムは、生産量の低下を招き、コストアップに繋がります。そこで、当社では無人稼動実現への第一歩として、ブレード交換作業を全自動で行うオートブレードチェンジャーを開発しました。

製品概要

オートブレードチェンジャーは、全自動にてブレードの脱着から取り付けまでを約60秒間で実施し稼働を再開します。ユニット内に配置されたストック部に交換用ブレードをセットしておくことで、ブレードのライフが寿命に達した際の通常交換やカット距離（カット長、カット本数）指定などによる定期交換作業の自動化が可能です。さらにフルオート稼動中にブレードが破損した場合も、オペレータの対処を待つことなく即座に交換作業に移るため、装置のダウンタイムが短縮され稼働率の向上に繋がります。また、従来の手作業によるブレード交換を自動化することにより、オペレータの作業負担を軽減できるだけでなく、締め付けトルクの過不足などによる装着不良や、交換時の周辺部への誤接触によるブレード刃先破損などのヒューマンエラーの回避にも有効となり、品質の安定化にも貢献します。

主な仕様

搭載機種	：	下記装置にオプションとして搭載可能です。 8インチウェーハ対応フルオートダイシングソー（DFD6340） 300 mmウェーハ対応フルオートダイシングソー（DFD6361）
対応ブレード	：	2インチハブブレード
ストック枚数	：	各スピンドル5枚
交換所用時間	：	約60秒
交換タイミング	：	定期交換時（カット長または本数設定）ブレード破損検出時