廃水ゼロ化を実現するダイシングソー用純水リサイクル装置「DWR1720」を開発
株式会社ディスコ（本社：東京都大田区、社長：溝呂木 斉）は、ダイシングソーからの廃水ゼロ化を実現する、超小型純水リサイクル装置「DWR1720」を開発しました。本製品は12月に開催されるSEMICON Japan 2008に出展いたします。
開発の背景
加工に純水を使用するダイシングソーでは近年、ウェーハの清浄性を高めるために純水消費量が増加し、リサイクルの必要性も高まっています。しかし、従来のリサイクル設備は大型かつ高額なシステムが一般的でした。こうした課題に対してこのたび弊社が開発した「DWR1720」は、装置の小型化を実現し、同時に従来のシステムよりも大幅に純水リサイクル率を向上、消費電力も低く抑えた省エネ設計となっています。 |
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DWR1720概要
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新開発のろ過フィルタ「CC Filter」の採用により、ダイシングソーからの廃水ゼロ化を達成
（99.8%をリサイクル。0.2%は気化分） |
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純水の温度を一定に保つ水温調整機能も内蔵することで、従来必要であった定温水供給装置との置き換えを可能にした。よって、クリーンルームの使用面積の増加がない
（フットプリントは定温水供給装置「DTU152」と同等の0.6m²〔450x1302㎜〕） |
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従来の純水リサイクルシステム＋定温水供給装置に比べ、大幅に消費電力を低減 |
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ろ過した浮遊物質（切削屑など）をCC Filterごと簡単に廃棄でき、従来は必要であったろ過装置による濃縮や、溶剤による凝集など大掛かりな設備が不要なため、メンテナンスが容易 |
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従来、別々の設備で行っていた「純水製造」、「水温調整」、「廃水ろ過（浮遊物質の除去）」の機能の全てを1台で実現 |
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ダイシングソーの保有台数に合わせた、効率的な設備導入が可能
（DWR1720 1台で2台のダイシングソーに対応可能）
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ダイシングソーに併設するため、従来の純水リサイクルシステムに比べて大掛かりな配管工事などがいらず、設置が容易
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今後の計画
| 2008年12月 |
SEMICON Japan 2008 出展 |
| 2009年4月 |
販売開始 |
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お問い合わせ先
本件に関するお問い合わせは以下の連絡先までお願いいたします。
株式会社 ディスコ
IR・広報室 企画チーム
Phone: 03-4590-1090 Fax: 03-4590-1094 |
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