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プレスリリース

2010年11月16日

ドレイン水の圧送機能、ダイシングソーとの通信機能を備えた
ダイシングソー用純水リサイクル装置「DWR1721」を開発

株式会社ディスコ(本社:東京都大田区、社長:関家一馬)は、ダイシングソー用超小型純水リサイクル装置「DWR1720」と比べ、設置自由度と生産性を向上させた「DWR1721」を開発しました。
本製品は12月に開催されるSEMICON Japan 2010に参考出展します。

開発の背景・特長
DWR1721半導体のダイシング工程で使用される純水の製造、および、リサイクルのニーズを受け、「DWR1720」を2008年に開発しました。 この度DWR1720に、“ドレイン水圧送機能”と“ダイシングソーとの通信機能”を加えた「DWR1721」を開発し、設置自由度や生産性の向上が可能となりました。
また、新たに開発した「DWR1721専用CO2インジェクタ(オプション)」との併用で、設置場所の制約をさらに低減させることが可能です。
DWRシリーズ概要
ダイシングソーから排出される切削廃水の「ろ過」「廃液処理」「純水製造」「水温調整」を1台で行う純水リサイクル装置。ダイシングソーからの切削廃水ゼロを実現。(99.5%をリサイクル。0.5%は気化分
DWR1台で、デュアルダイシングソーなら2台、シングルダイシングソーなら4台まで対応が可能です。
DWR1721概要

◆設置自由度の向上

以下の2つの機能を備えることで、DWR1721の設置場所の制約が少なくなります。これにより、ダイシングソーの設置自由度も向上させることができ、工場の遊休スペースの有効活用などが可能です。

<ドレイン水の圧送機能>

  • DWR1721で純水製造する際に使用される市水からは、ROフィルタでろ過される際に、わずかにドレイン水(濃縮廃水)が発生します。DWR1721には、このドレイン水を圧送するポンプが新たに装備され、排水口が遠い場所でも装置の使用が可能になりました。

<切削廃水圧送用小型タンク(オプション)>

  • ダイシングソーから排出される切削廃水をDWR1721へ圧送できる小型タンクをオプションでご用意しました。
    従来、切削廃水はダイシングソーとDWRの間の配管を傾けることで送水していたため、DWRとダイシングソーの設置場所と距離に制約がありましたが、この小型タンクによりその制約を解消できるようになりました。

◆生産性の向上

<ダイシングソーとの通信機能>

  • “セットアップ中”や“エラー発生”等のステータス情報をDWR1721とダイシングソー間で共有することができ、連係した動作が可能です。

  • 通信機能により、純水供給後のダイシングソーでの加工開始、および、加工停止後の純水供給ストップが自動でできるなど、装置オペレータの管理負担を低減でき、生産性が向上します。


ダイシングソー通信画面
(イメージ)
DWR1721専用CO2インジェクタ(オプション)
  • CO2インジェクタは、ダイシングソーでの加工時に使用される切削水(純水)に炭酸ガス(CO2ガス)を溶解させることで導電性を高め、加工中のワークの帯電を軽減し、静電破壊やパーティクル付着を低減するための装置です。

  • DWR1721専用CO2インジェクタは、炭酸ガスボンベを筐体に内蔵できるため、設備側に制約されずに炭酸ガスの供給が可能です。そのため、DWR1721およびダイシングソーの設置自由度をさらに向上できます。
    (従来機は、設備側に炭酸ガス供給機能が必要)

  • DWR1721との通信機能を搭載し、DWR1721からCO2インジェクタを操作可能です。

  • 処理流量30 L/minで、フルオートダイシングソー2台分の切削水を1台で処理できます。(ダイシングソー専用の従来機は、Max.15 L/min)

【参考:フロー図】

今後の予定

SEMICON Japan 2010 出展

2010年12月

販売開始時期

2011年度前半


本リリース発表時(2010年11月16日)、「99.8%をリサイクル。0.2%は気化分」と表記いたしましたが、その後の再計測により「99.5%をリサイクル。0.5%は気化分」に改めさせていただきました。(2014年5月27日修正)


お問い合わせ先
本件に関するお問い合わせは以下の連絡先までお願いいたします。
株式会社ディスコ
経営支援室 広報チーム
Phone: 03-4590-1090 Fax: 03-4590-1076
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