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2010年11月18日

装置幅わずか650mmのφ8インチ対応マニュアルダイシングソー「DAD3240」を製品化

株式会社ディスコ(本社:東京都大田区、社長:関家一馬)は、φ8インチ対応のマニュアルダイシングソー「DAD3240」を新たに開発しました。本装置はSEMICON Japan 2010(12/1-3:幕張メッセ)に出展します。

開発の背景
φ8インチ(8インチ角ワーク)対応のマニュアルダイシングソーのシンプル化、コンパクト化、使い勝手の向上を追求し、今回新たにDAD3240を開発しました。

別途専用のジグが必要です
DAD3240の特長

◆使いやすさの追求

  • DAD3000シリーズで定評のある、オートアライメント機能を標準で搭載
  • 15インチのLCDタッチパネルと、GUIによる直感的な操作を実現
  • DAD3000シリーズで好評の操作体系を採用し、従来機をご利用のお客さまはもちろん、初めてのお客さまも簡単に操作可能

◆コンパクト設計

  • φ8インチウェーハ対応で装置幅わずか650mmを実現
  • フットプリントはDAD3350の2/3
    ※当社既存機種であるφ8インチ対応のマニュアルダイシングソー

◆高い加工対応力

  • 高出力1.8kWスピンドルを採用し、シリコンからセラミックなどの難削材まで加工可能

◆メンテナンス頻度の低減

  • 顕微鏡レンズシャッター、スコープブロー機能を搭載することで、顕微鏡のメンテナンス頻度を低減し、装置稼働率の向上が期待できます

◆環境配慮設計

  • 欧州RoHS指令の特定6物質を含む15物質の非含有を実現
今後の計画

SEMICON Japan 2010 出展

2010年12月

量産開始予定

2011年2月

お問い合わせ先
本件に関するお問い合わせは以下の連絡先までお願いいたします。
株式会社ディスコ
経営支援室 広報チーム
Phone: 03-4590-1090 Fax: 03-4590-1076
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