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2011年11月24日

大流量に対応した定温水供給装置の省エネモデル
「DTU1540」を製品化

株式会社ディスコ(本社:東京都大田区、社長:関家一馬)は、ダイシングソーやグラインダのスピンドル冷却水・切削水を定温かつ一定圧力で供給する定温水供給装置(DTU)に、送水能力の向上と省エネを実現した「DTU1540」を新たに開発しました。本装置はSEMICON Japan 2011(12/7-9:幕張メッセ)に参考出展します。
開発の背景
ダイシングソーやグラインダの高精度な加工には、スピンドル冷却水および切削水を適切な温度と圧力で安定供給することが不可欠です。これを実現する定温水供給装置(DTU)に対してはさらなる省エネルギー化、省フットプリント化が常に求められています。 これらのニーズに対応するため、エネルギー効率の高いヒートポンプシステムを搭載した省エネ型のDTU1540を製品化しました。電力使用制限などの節電需要にも対応するほか、大流量化と小型化も両立しています。
DTU1540の特徴

大幅な省エネを実現
  • 電力消費を大幅に低減(従来機種比で約78%減)
DTU1540
送水能力の大幅な向上
  • 送水能力:大流量の45L/min(切削水+冷却水)
    • サファイヤ研削などの大量の切削水が必要な加工にも対応します。
    • 本装置1台で複数台のダイシングソーに対応可能です。
  • 切削水/冷却水の分配比率の設定自由化により、汎用性が向上
省フットプリント
  • フットプリント0.39㎡(W500 x D780mm)と、従来機比約30%減
    • ダイシングソーを複数台設置する場合、DTU1540本体の省フットプリント化に加え、本装置1台で複数台のダイシングソーに対応可能なため、クリーンルーム内の省スペース化に大きく貢献します。
今後の計画
SEMICON Japan 2011 参考出展 : 2011年12月
量産開始予定 : 2012年夏頃を予定
お問い合わせ先
本件に関するお問い合わせは以下の連絡先までお願いいたします。
株式会社ディスコ
経営支援室 広報チーム
Phone: 03-4590-1090 Fax: 03-4590-1076
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