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2014年12月2日

洗浄能力を向上させたマニュアル洗浄装置「DCS1441」を開発

株式会社ディスコ(本社:東京都大田区、社長:関家一馬)は、Φ8インチウェーハ対応マニュアル洗浄装置の新ラインナップとして「DCS1441」を開発しました。洗浄能力・装置操作性を向上させ、ワーク清浄度の高度化要求に対応します。
本装置はSEMICON Japan 2014(12/3-5:東京ビッグサイト)に出展します。

開発の背景
スマートフォンやタブレット端末を牽引役として市場拡大が続くイメージセンサーなど、高い清浄度が求められるワークが増化しています。また、コンタミ残留によるチップ不良を低減するため、ダイシング工程以降に洗浄プロセスを追加するケースも増えてきています。
新製品「DCS1441」は、高い洗浄性能によりこれらのニーズに応えるマニュアル洗浄装置です。
製品特徴
  • Φ8インチウェーハ対応 マニュアル洗浄装置
    - 最大□210mmまで対応可能
  • 高い洗浄性能
    - 洗浄アームの速度可変対応(洗浄の最適化)
    - イメージセンサーなど高い清浄性が求められるワークにも対応するハイクリーン二流体洗浄仕様を新たにオプション設定
    - 純水をDCS1441内で循環利用することで安定した洗浄品質が得られる純水循環ユニットをオプション設定
  • 操作性向上
    - ワークサイズ、テーブル回転数、洗浄時間を設定するだけで洗浄開始できる簡易設定モードを搭載
    - 液晶パネル設置位置をより操作しやすい位置へ変更
販売開始時期

2015年6月予定

お問い合わせ先
株式会社ディスコ
経営支援室 広報チーム
Phone: 03-4590-1090
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