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2014年12月3日

最適仕様を選択できる純水リサイクル装置*1「DWR1722」
DWRシリーズと併用可能な切削水用添加剤*2「StayClean-R」を開発

株式会社ディスコ(本社:東京都大田区、社長:関家一馬)は、ダイシングソーで使用する純水を100%リサイクルする装置DWRシリーズの新ラインアップ「DWR1722」を開発しました。DWR1722は標準仕様をシンプルにし、各種機能の取捨選択を可能にしました。これによってお客さまの設置環境に合わせた無駄のない最適な仕様を実現します。
またこれに加え、ダイシング時に切削水に添加することで、ボンディングパッド等の金属膜の腐食を防止する切削水用添加剤「StayClean-R」(ステイクリン-R)を開発いたしました。「StayClean-R」は従来対応していなかったDWRシリーズとの併用が可能になり、純水リサイクルと金属膜の腐食抑制を同時に実現します。
両製品は、SEMICON Japan 2014 (12/3-5:東京ビッグサイト)に展示します。

開発の背景
  • DWR1722
    従来機種DWR1721は、多機能であるが故に、既に純水製造設備などをお持ちのお客さまには不要な機能も搭載されていました。「DWR1722」では、RO膜ユニット等をオプション化することで機能の流動性を高め、お客さまごとに必要な機能を選択できるようにすることで、仕様の最適化、装置価格の適正化を実現します。
  • StayClean-R
    大口径ウェーハや小チップウェーハなどカット時間が長いワークでは、純水(切削水)との接触時間が長くなり、ボンディングパッド等の金属腐食が発生することがあります。この課題に対し、従来は「StayClean-F」をラインアップしていましたが、製品仕様上、DWRシリーズとの併用ができませんでした。今回、有効成分の見直しにより、金属腐食効果はそのままに、DWRシリーズにも対応した「StayClean-R」を開発しました。
製品特徴
  • DWR1722
    - 排水ゼロを実現し、市水使用量を大幅に削減。環境負荷を低減
    - 標準仕様をシンプル化
◆従来機種との機能比較
機能・仕様 DWR1722(新製品) DWR1721(従来機種)
純水製造、水温調整
濾過、浮遊物質廃棄
標準 標準
RO膜ユニット*3 オプション
TOC計
排水圧送ポンプ
ダイサ通信機能 オプション
*3 市水から純水製造する場合にはRO膜ユニットが必要
- ダイシングソー保有台数に合わせた効率的な設備導入が可能(DWR1722は1台で全自動ダイシングソー2台まで対応)
  • StayClean-R
  • - ボンディングパッド等の腐食を抑制し、ワイヤボンディング不良率を低減
    - 純水製造に必要なイオン交換を阻害しないため、DWRシリーズと併用可能
    - 要求品質やワーク特性に応じて1,000~5,000倍に希釈して使用するため低コスト
    - 環境ホルモンなどの有害物質や特定化学物質を含まず、低環境負荷
販売開始時期
  • DWR1722
    2015年4月予定
  • StayClean-R
    2015年4月予定
*1 純水リサイクル装置(DWRシリーズ)
DWRシリーズはダイシングソー用に開発された超小型純水リサイクルシステムです。純水製造、ろ過、定温水供給、廃液処理など、従来個別の設備で行っていた機能を1台に集約しています。
従来の大型、かつ高額な純水リサイクルシステムと比較し、イニシャル、ランニングともに低コスト化を実現。CoOを低く抑えながらも、お客様のニーズに合わせた純水リサイクルシステムの構築が可能です。
DWRシリーズは純水リサイクル率100%(ダイシングソーからの排水ゼロ)を実現し、水使用量削減による環境負荷低減にも貢献します。

*2 切削水用添加剤 (StayClean)
StayCleanをダイシング切削水に添加することで、ワーク表面に保護膜を形成し、純水と金属膜の接触を緩和し、腐食を抑制します。これにより、ワイヤボンディング不良率を低減できます。
お問い合わせ先
株式会社ディスコ
経営支援室 広報チーム
Phone: 03-4590-1090
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