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周辺装置

より高精度で安定した研削切断加工結果をお客様にご提供するため、ダイシングソーやグラインダと併用してお使いいただく周辺装置の製品開発にも力を入れています。CoOの向上や環境負荷に配慮をした設計を取り入れています。

超音波ダイシングユニット
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超音波ダイシングユニット
Ultrasonic-wave Dicing Unit 専用のブレードを用いて超音波援用加工を可能にする
ユニット
超音波チャージングユニットDUS1010
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DUS1010
DUS1010 超音波を援用し、ラップ機の定盤に砥粒を打ち込むユニット
ダイシングソー用 純水リサイクル装置
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DWR1722
DWR1722 純水製造、水温調整、ろ過、廃液処理の機能を併せ持つ純水リサイクル装置
定温水供給装置
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DTU162
DTU152 シリコンウェーハの加工(切削水 放水式)
DTU1531
DTU162 電子部品の加工(切削水 循環式)
ダイシングソー専用 比抵抗値調整ユニット
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CO2インジェクタ
CO2インジェクタ ダイシング時の切削水によるパーティクル付着および静電破壊を抑制
オートマチックウェーハ洗浄装置
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DCS1460
DCS1440 ダイシング後のシリコンウェーハやガラス基板セラミック等の洗浄
DCS1460
DCS141
(生産終了)
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