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ダイシングソー専用比抵抗値調整ユニット -Resistivity Management Unit-

CO2インジェクタは、ダイシング中に発生するワークへの帯電を低減させ、パーティクル付着およびデバイスの静電破壊を抑制するユニットです。
供給する純水の比抵抗値を下げるために、切削水中に炭酸ガスを溶解し設定した比抵抗値に調節します。


新開発のCO2混入(マルチステージミキシング)方式により、切削水の流量変動にも影響されることなく、比抵抗値を安定させることが可能です。 またダイシングソーの画面上で比抵抗の設定をはじめ、各種パラメータの入力、アラームの集中制御などが行え、DFD6000シリーズの装置に内蔵可能な省スペース設計です。

対応装置: ダイシングソー

CO2インジェクタ
標準仕様 低比抵抗仕様
CO2インジェクタ CO2インジェクタ
比抵抗値設定範囲(MΩ・cm) 0.5 ~ 1.0 0.2 ~ 0.6
比抵抗値変動幅 目標比抵抗値の±10 %以内 目標比抵抗値の
±0.06 MΩ・cm以内
特徴 切削水の比抵抗値を常時監視し、目標比抵抗値への合わせこみ制御を行います。また、ダイサのフルオート開始時/枚葉毎のカット終了時/エラー発生時の比抵抗値をロギング可能でプロセス管理にも有効です。
※通水流量は3~15 L/minの範囲内で一定流量、供給水温20~25℃の場合
※ 装置の写真をクリックすると製品カタログ(PDF)が開きます
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