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オートマチックウェーハ洗浄装置 -Automatic Cleaning System -

ダイシングソーにより切断されたウェーハやガラス基板、セラミックス等の洗浄を目的とした装置です。洗浄・リンス(オプション)・乾燥の各種設定を行うことができます。セミオートダイシングソーと組み合わせて使用可能です。

  DCS1440
DCS1440 カタログ
DCS1460
DCS1460 カタログ
DCS141
(生産終了)
DCS1460
DCS1440
DCS141
仕様
最大ワークサイズ ø8"/250mm角 ø300mm/310mm角 ø8"
対応フレーム DTF2-5, DTF2-6, DTF2-6-1, DTF2-8-1, DTF2-5-1* DTF2-8-1, DTF2-12, DTF2-12-1, (DTF2-5, DTF2-5-1, DTF2-6, DTF2-6-1)* 2-5, 2-6, 2-8
洗浄方法 高圧洗浄仕様、二流体洗浄仕様* 高圧洗浄仕様
テーブル回転数(min-1 100 - 3,000 0 - 3,000
スピンナ吐出圧力(MPa) 2.0 - 11.8 2.0 - 12.0
装置寸法(WxDxH)
(mm)
400 x 600 x 1,220
(但し、突起物・タッチパネル高128mmを除く)
500 x 650 x 1,220
(但し、突起物・タッチパネル高128mmを除く)
400 x 719 x 1,220
(但し、突起物を除く)
装置質量(kg) 約130 (トランス使用時: 約164) 約150 (トランス使用時: 約184) 約150 (トランス使用時: 約170)
特徴 オプションでダブルアーム洗浄が搭載可能で、洗浄機能が向上しています。また、グリーン調達、RoHS指令に対応した環境に配慮した設計です。 DAD300シリーズと共通のデザインコンセプトで設計され、オペレーションの簡易化、省フットプリント化を実現しています。
* オプション仕様
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