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オートマチックウェーハ洗浄装置 -Automatic Cleaning System -

ダイシングソーにより切断されたウェーハやガラス基板、セラミックス等の洗浄を目的とした装置です。洗浄・リンス(オプション)・乾燥の各種設定を行うことができます。セミオートダイシングソーと組み合わせて使用可能です。

  DCS1440
DCS1440 カタログ
DCS1441 DCS1440 カタログ DCS1460
DCS1460 カタログ
DCS1460
DCS1441 DCS1440
仕様
最大ワークサイズ ø8"/250mm角 ø8" ø300mm/310mm角
対応フレーム DTF2-5, DTF2-6, DTF2-6-1, DTF2-8-1, DTF2-5-1* 2-8-1 DTF2-8-1, DTF2-12, DTF2-12-1, (DTF2-5, DTF2-5-1, DTF2-6, DTF2-6-1)*
洗浄方法 高圧洗浄仕様、二流体洗浄仕様*
テーブル回転数(min-1 100 - 3,000
スピンナ吐出圧力(MPa) 2.0 - 11.8
装置寸法(WxDxH)
(mm)
400 x 600 x 1,220
(但し、突起物・タッチパネル高128mmを除く)
400×600×1,380 500 x 650 x 1,220
(但し、突起物・タッチパネル高128mmを除く)
装置質量(kg) 約130 (トランス使用時: 約164) 約150 (トランス使用時: 約184)
特徴 洗浄シークエンスの登録やオプションの各種洗浄ノズルの選択など、幅広い洗浄機能が選択可能です。また、グリーン調達、RoHS指令に対応した環境に配慮した設計です。
* オプション仕様
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