ダイシングソーやグラインダと併用してお使いいただく装置です。
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| Ultrasonic-wave Dicing Unit |
専用のブレードを用いて超音波援用加工を可能にする
ユニット |
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| DWR1721 |
純水製造、水温調整、ろ過、廃液処理の機能を併せ持つ純水リサイクル装置 |
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| DTU152 |
シリコンウェーハの加工（切削水 放水式） |
| DTU1531 |
| DTU162 |
電子部品の加工（切削水 循環式） |
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| CO2インジェクタ |
ダイシング時の切削水によるパーティクル付着および静電破壊を抑制 |
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| DCS1440 |
ダイシング後のシリコンウェーハやガラス基板セラミック等の洗浄 |
| DCS1460 |
DCS141
（生産終了） |
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