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製品情報


ドライポリッシングホイール

ポリッシャに装着し、裏面研削後の微細な研削痕を除去する(ストレスリリーフ)、「Migaku(磨く)」加工を行う製品です。

安全にご使用いただくために
制限回転数について

シリーズ 加工対象 特徴
DPシリーズ DP
シリーズ
シリコンウェーハ 他 水・スラリーを用いずに乾式で鏡面加工・ストレスリリーフを行うポリッシングホイール
DP08シリーズ DP08
シリーズ
シリコンウェーハ 他 新開発ドライポリッシングホイール。通常のウェーハ研磨に加え、DBGプロセスでも使用可能
GetteringDP Gettering
DP
シリコンウェーハ 他 ドライポリッシュプロセスでゲッタリング性と高い抗折強度を両立


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