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| UltraPoligrindは、超微細ダイヤモンド砥粒を採用することでPoligrindより更に低ダメージの研削が可能、高い抗折強度を実現します。また、ストレスリリーフを行うことで低下が予想されるゲッタリング性も維持可能な新しい仕上げ研削ホイールです。ケミカルフリーの通常研削加工のため環境負荷が少なく、容易なオペレーションで薄化研削が実現できます。 |
- ウェーハへのダメージが低く、高い抗折強度を実現
- 通常研削と同等のゲッタリング性を維持
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株式会社ディスコ 営業本部 国内営業部
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