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製品情報

8000シリーズ - Fully Automatic Dry Etcher -
ドライエッチャとは
8000シリーズ全自動ドライエッチャは、フッ素系ガスのプラズマよりエッチングを行うストレスリリーフユニットです。ウェーハ裏面の研削ダメージ層を除去することでウェーハ割れや反りを低減し、チップ抗折強度・反りを改善。パッケージ工程における歩留まりを向上させます。ドライエッチングをDBGプロセスと組み合わせると、チップ裏面の研削ダメージだけでなく、ハーフカット時の切削ダメージも除去でき、裏面のみのストレスリリーフに比べ、さらに高いチップ強度が得られます。
DBG+ドライエッチング プロセスフロー
グラインダ／ポリッシャ ポリッシャ ドライエッチャ
  DFE8040
（生産終了）		 DFE8060
（生産終了）
DFG8560+DFE8060
加工可能ウェーハ径 ø8" ø8"およびø300 mm
処理方式 高密度狭方式プラズマ
使用ガス SF6/He/N2
ウェーハ搬送部 カセットストレッジ数 2
カセット部フロー オープンフロー(収納のみ可能)
搬送アーム グラインダのスピンナ洗浄ユニットよりウェーハをチャンバーにロードし、処理後のウェーハをダミーターブルへアンロードするユニットです。
ダミーテーブル 処理したウェーハを受け渡しのために設置する場所です。
アンロード用ロボット 処理したウェーハをカセットへ収納するためのユニットです。
カセットステージ ウェーハ収納用のカセットステージです。
使用カセット DBGカセットのみ
ユーティリティユニット ドライポンプ チャンバー換気用ポンプ
排気速度

27m3/h
到達圧力 10 Pa abs
※1年ごとのオーバーホールを推奨します。
ロータリポンプ ワーク吸着用ポンプ
排気速度 1.9m3/h
到達圧力 0.3 Pa abs
※1年ごとのオーバーホールを推奨します。
RF電源 プラズマ生成用高周波電源
マスフローコントローラー 供給ガスコントロール用
各種バルブ類 処理部制御、ガスコントロール用
ガス探知機 本体、ユーティリティユニットからHFがもれた場合に検出する。
※半年毎の校正を推奨します。
チラーユニット RF電源･上部電極冷却用、下部電極冷却用の2台使用します。
設定温度範囲 ＋5 ～ +35 ℃
最大流量 15 L/min 12 L/min
最大吐出圧 0.42 MPa
冷却能力 2.41 kW(20℃設定） 3.5 kW(20℃設定）
使用水   純水
諸元 電気 電圧 三相 AC 200V ±10%
周波数 50/60 Hz
消費電力 稼動時：5.0 kW
待機時：3.4 kW		 稼動時：7.0 kW
待機時：4.0 kW
※上記の値は参考値であり、条件によって異なります。
最大電力 17 kVA 25 kVA
放電用ガス ガス種 SF6：純度99.99％以上
He：純度99.99％以上
供給圧 0.1 Mpa 変動幅0.03 MPa以下
※圧力調整用のレギュレータおよびガスフィルタは、お客様側でご準備願います。
パージ用ガス ガス種 N2
供給圧 ・範囲0.5～0.8 MPa
・変動幅0.03 MPa以下
チャンパ用
流量 50 L/min以上
ウェーハ1枚あたりの消費量 6L
(パージ時間7 sec、処理時間60 secと設定した場合)
ドライポンプ用
流量 1.5 L/min以上
ウェーハ1枚あたりの消費量 1.5 L
(処理時間60 secと設定した場合)
空気 供給圧力 ・範囲0.5～0.8 MPa
・変動幅0.03 MPa以下
流量 400 L/min以上（ANR)以上
水 RF電源および上部・下部電極を冷却します。
冷却水量
(チラーユニット)		 10～15 L(2台分)※
※循環仕様ですが必要に応じて冷却水（純水）を補充してください。
ダクト 下記3系統の排気が必要です。
(1)メインダクト
機能 本体内ガス漏れ探知
･装置、プロセスの異常時に有害ガスの装置外流出を防止
排気量 4 m3/　以上
(下記静圧時、機械本体ダクト接続口において)
静圧 -1,200 Pa ～ -130 Pa
(機械本体ダクト接続口において)
(2)ユーティリティダクト
機能 ユーティリティユニット内のガス漏れ検知および排熱
排気量 7 m3/　以上
(下記静圧時、機械本体ダクト接続口において)
静圧 -1,200 Pa ～ -100 Pa (機械本体ダクト接続口において）
(3)プロセスガスダクト
機能 加工処理後のガス排気
・排ガス処理装置を通過した気体を排出します。未使用のSF6ガスを含みます。
排気量 0.6m3/　以上
静圧 -1,200 Pa ～ -45 Pa
(機械本体ダクト接続口において)
装置寸法 本体 1,400 x 2,500 x 1,800
ユーティリティ ユニット 775 x 942 x 1,525
チラーユニット
※2台必要です		 413 x 610 x 664(1台あたり） 540 x 743 x 772(1台あたり）
装置質量 本体 約870 kg 約1.048 kg
ユーティリティ ユニット 約230 Kg
(除害筒 約40kgは含みません)
チラーユニット
※2台必要です		 約90 kg x 2 約130 kg x 2
※

本仕様は、改良のためお断りなく変更させていただくことがあります。ご発注の際には、ご確認いただけますようお願いいたします。
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