製品情報

8000シリーズ - Fully Automatic Grinder / Polisher -

8000シリーズ全自動グラインダ/ポリッシャは、ウェーハの裏面研削からドライポリッシングまでを、同一チャックテーブルで行い、安定性の高い薄仕上げ加工が可能です。　また、3軸4チャックテーブル構造の採用や、搬送部レイアウトの最適化、バキュームユニットの内蔵等により、コンパクトサイズを実現しました。ウェーハマウンタ／リムーバとのインラインも可能で、DBG (Dicing Before Grinding-先ダイシング) システムの構築をはじめ、DAF（Die Attach Film)アプリケーションなどにも対応します。

インフィードとは

グラインダ／ポリッシャ

ポリッシャ

ドライエッチャ

			DGP8760 （生産終了）	DGP8761

加工可能ウェーハ径			Max ø 300 mm (ø 8" - ø 12")
加工方式	Z1·Z2軸		ウェーハ回転によるインフィードﾞ方式
	Z3軸		ウェーハ回転による変則インフィードﾞ方式
スピンドル	使用スピンドル		高周波モータ組込みエアースピンドル
	軸数		3
	定格出力（kW）	Z1·Z2軸	4.8	6.3
		Z3軸	7.5	6.3
	回転数(min^-1)[rpm]	Z1·Z2軸	1,000 - 4,000
		Z3軸	1,000 - 3,000
	Z軸ストローク（mm）	Z1·Z2軸	120（原点付）
		Z3軸	50
	Z軸切込み送り速度（mm/s）		0.0001 - 0.08
	Z軸早送り速度（mm/s）		50
	Z軸最小指令単位(µm)		0.1
	Z軸最小分解能(µm)		0.1
ウェーハチャックテーブル	チャックテーブル型式		ポーラスチャックテーブル
	チャック方式		バキュームチャック
	回転数(min^-1)[rpm]		0 - 300	0 - 800
	チャックテーブル数		4
	チャックテーブル洗浄		水及びエアー吹き上げ並びにオイルストーン及びブラシ洗浄	水及びエアー吹き上げ並びにレべリングストーン及び2流体洗浄
	ウェーハ洗浄		二流体ノズルによる水洗浄
	スパークアウト (チャックテーブル回転設定)		0 - 999
使用砥石	ダイヤモンドホイール(mm)	Z1·Z2軸	ø300
	ドライポリッシュ用ホイール(mm)	Z3軸	ø450
ウェーハ搬送部・洗浄部	カセットストレッジ数		2
	カセット部フロー		セームフロー及びオープンフロー
	スピンナユニット		二流体ノズルによる水洗浄及び乾燥
バキュームユニット	排気速度	ポンプ単体	26/34(m³/h) 50/60(Hz)
		バキュームユニット	20/28(m³/h) 50/60(Hz) （-70 kPa時）
	到達圧力(kPa)		-90（循環水温15℃、供給水流量1L/min）
	電動機（kW）		1.5
	使用水量（L/min）		2.0（供給水量が30℃以下の場合） 1.5（供給水量が25℃以下の場合） 1.0（供給水量が20℃以下の場合）
加工精度	（専用チャックテーブル使用時、ø300 mmウェーハ研削時）
	ウェーハ内の厚さバラツキ(µm)		3.0以下	2.5以下（Z1・Z2軸研削のみの場合：2.5以下）
	ウェーハ間の厚さバラツキ(µm)		±3.0以下	±2.5以下（Z1・Z2軸研削のみの場合：±2.5以下）
	仕上がり面粗さ(µm)		Ra0.005以下 Z1・Z2軸研削のみの場合 Ry0.13前後(#2000仕上げ時)
装置寸法(WxDxH) (mm)			1,690 x 3,450 x 1,800
装置質量 (kg)			約5,100	約6,300

※	本仕様は、改良のためお断りなく変更させていただくことがあります。ご発注の際には、ご確認いただけますようお願いいたします。