8000シリーズ - Fully Automatic Polisher -
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8000シリーズ全自動ポリッシャは、ダイヤモンドではなく、シリコンと固相反応する砥粒を使用したドライポリッシュホイールを使用し、水や薬液を一切使用せず、ダイヤモンド加工後の研削歪みを除去する完全な乾式研磨装置です。
また、ウェーハの薄仕上げ対応として、研削・ドライポリッシュ・ウェーハ搬送まで、より安全に行うため、8000シリーズグラインダやウェーハマウンタ／リムーバとのインラインシステムも可能です。
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DFP8140
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DFP8160
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| 加工可能ウェーハ径 |
ø4" - ø200 mm
( ø4" - ø8") |
ø200 mm - ø300 mm
( ø8" - ø12") |
| 加工方式 |
ウェーハ回転による変則インフィードﾞ方式 |
| スピンドル |
使用スピンドル |
高周波モータ組込みエアースピンドル |
| 軸数 |
1
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| 定格出力（kW） |
4.8 |
7.5 |
| 回転数(min-1)[rpm] |
1,000 - 4,000 |
1,000 - 3,000 |
| Z軸ストローク（mm） |
100（原点付） |
72（原点付） |
| Z軸切込み送り速度（mm/s） |
0.0001 - 0.08 |
| Z軸早送り速度（mm/s） |
50 |
| Z軸最小指令単位(µm) |
0.1 |
| Z軸最小分解能(µm) |
0.1 |
| ウェーハチャックテーブル |
チャックテーブル型式 |
ポーラスチャックテーブル |
| チャック方式 |
バキュームチャック |
| 回転数(min-1)[rpm] |
0 - 300 |
| チャックテーブル数 |
1 |
| チャックテーブル洗浄 |
水及びエアー吹き上げ並びにオイルストーン及びブラシ洗浄 |
| ウェーハ洗浄 |
ノズルによる水洗浄 |
| 内蔵負荷センサ |
薄型力センサ |
スパークアウト
(チャックテーブル回転設定) |
0 - 999 |
| Y軸加工ストローク |
420 |
510 |
| Y軸移動速度 |
0.5 - 200 |
| Y軸最小分解能 |
0.002 |
| 使用砥石 |
ドライポリッシュ用ホイール(mm) |
ø300 |
ø450 |
| ウェーハ搬送部・洗浄部 |
カセットストレッジ数 |
2 |
| カセット部フロー |
セームフロー及びオープンフロー |
| スピンナユニット |
二流体ノズルによる水洗浄及び乾燥 |
| バキュームユニット |
排気速度(m3/h) |
29/36 50/60(Hz) |
| 到達圧力(kPa) |
-90（循環水温15℃、供給水流量1L/min） |
| 電動機（kW） |
1.5 |
| 使用水量（L/min） |
供給温度22℃以上：3/供給温度22℃未満：1 |
| 集塵ユニット |
方式 |
ウェットサイクロン方式 |
| 排気量(m3/min) |
4.0 |
| 電動機（kW） |
1.0 |
| 使用水量（L/min） |
4.0 |
| 加工精度 |
除去量バラツキ(µm) |
±1以下（平均2 µm除去時） |
装置寸法(WxDxH)
(mm) |
1,200 x 2,670 x 1,800 |
1,400 x 3,322 x 1,800 |
装置質量
(kg) |
約1,900 |
約2,400 |
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| ※ |
本仕様は、改良のためお断りなく変更させていただくことがあります。ご発注の際には、ご確認いただけますようお願いいたします。
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