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関連製品

ディスコでは加工品質の向上が望める切削水用添加剤、精密加工装置をご使用いただく上で必要な関連製品(各種カセット、フレームなど)もご提供しております。

ダイシング切削水用添加剤
ダイシング切削水に添加することで、加工中のパーティクル付着やパッドの腐食を防止します。
StayClean-R StayClean-FのDWR対応版
StayClean-F パッド腐食を防止、パッド上のパーティクル付着防止
StayClean-A ウェーハへのパーティクル付着を効果的に防止
(樹脂膜、金属膜、ガラス)
StayCleanインジェクタ 高度な濃度管理が可能なStayClean添加装置
StayClean-R


水溶性保護膜HogoMax
レーザ加工前に加工面に塗布することでデブリ付着を大幅に抑制し、デバイスの信頼性向上に貢献します。
タイプ ラインナップ表示 粘度
HogoMax003 -15 65cP (標準版)
-10 217.5cP(高粘度版)
HogoMax002 60cP 60cP(原液)
16.5cP 16.5cP(1.5倍希釈)
8.0cP 8.0cP(2倍希釈)
3.8cP 3.8cP(3倍希釈)
水溶性保護膜HogoMax
※HogoMax の類似品に関するご注意


テープフレーム
ダイシング時にワークを固定するフレームです。 テープフレーム
MDTFR200-01
フレーム
サイズ
ワーク
サイズ
フレーム
型式
DISCO
パーツNo.
サイズ(mm) 材質 備考
最大
外径
最小
外径
内径
ø5 inch ø4 inch DTF2-5-1 MEDFNB29 168.2 - 146 樹脂製 角型
ø5 inch DTF2-5 MDTFR125-01 195 190 165 ステンレス製 丸型
ø6 inch DTF2-6 MDTFR125-02 214 195 175 ステンレス製 標準タイプ
ø6 inch DTF2-6-1 MDTFR150-02 228 212.5 194 樹脂製  
DTF2-6-1 MDTFR150-03 228 212 194 ステンレス製 標準タイプ
ø8 inch ø8 inch DTF2-8-1 MDTFR200-04 296 276 250 ステンレス製 標準タイプ
215x132 DTFS215-01 MDTFS215-01 296 276 - ステンレス製 角型C/T用
ø12 inch ø12 inch DTF2-12 MDTFR300-05 400 380 350 ステンレス製 厚さ:1.5mm
DTF2-12-1 MDTFR300-06 400 380 350 ステンレス製 厚さ:1.2mm
250x250 DTFS250-02 MDTFS250-02 400 380 - ステンレス製 厚さ:1.5mm
※品番(パーツナンバー)等の詳細につきましては、各アフターサービス担当へお問い合わせください。
※発注は1枚単位から可能です。
(ご参考)テープフレームサイズ



ダイシング用カセット
ダイシングフレームに貼付されたワークを収納するカセットです。 ダイシング用カセット
MDTC-200-02
対応
フレーム
サイズ
DISCO
パーツNo.
サイズ(mm) 段数 材質/処理 備考
奥行 高さ
ø5インチ MDTC-100-01 178 171.5 143 25 アルミニウム/
黒色アルマイト処理
MEDFNB29(DTF2-5-1)向け
MDTC-125-01 203 195 143 25 MDTFR125-01(DTF2-5)向け
MDTC-125-02 203 198 143 25 DTF2-6向け/1way仕様
MDTC-125-03 203 198 143 25 DTF2-6向け/2Way仕様
ø6インチ MDTC-150-01 222 212 143 25 アルミニウム/
黒色アルマイト処理
DTF2-6-1向け/1way仕様
MDTC-150-02 222 212 143 25 DTF2-6-1向け/2Way仕様
MDTC-150-03 240 212 143 25 樹脂製 DTF2-6-1向け
(1Set:5個入り)
ø8インチ MDTC-200-01 288 276 188.8 25 アルミニウム/
黒色アルマイト処理
DTF2-8-1向け/1Way仕様
(DTC2-8J)
MDTC-200-04 288 276 112.55 13 DTF2-8-1向け/1Way仕様
(DTC2-8H)
MDTC-200-02 288 276 188.75 25 DTF2-8-1向け/
2Way仕様 (DTC2-8G)
ø12インチ MDTC-300-01 390 386 182 13 アルミニウム/
黒色アルマイト処理
DTF2-12向け/1Way仕様
MDTC-300-02 390 386 182 13 DTF2-12向け/1Way仕様
キネマチックカップリング対応
MDTC-300-03 390 386 302 25 DTF2-12向け/1Way仕様
キネマチックカップリング対応
※品番(パーツナンバー)等の詳細につきましては、各アフターサービス担当へお問い合わせください。


グラインダ用カセット
ウェーハを直接収納するカセットです。
ダブルスロットカセットとは、薄ウェーハを安全に出し入れするための特殊カセットです。
※ディスコでは、標準のカセットは取り扱っていません。
薄残し用ダブルスロットカセット ø 8インチ 7段
13段
ø 300 mm 7段
13段
ダブルスロットカセット
ダブルスロットカセット
(ø8インチ, 7段)
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