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アプリケーション実例集


3点エッジアライメントを用いた加工
 
エッジアライメントとは、ワークのエッジ(端)を検出し、その部分を基準としてカット位置を割り出すプロセスのことです。
◆3点エッジアライメント加工詳細
円形ワークのエッジ3点の位置からワークの中心位置、直径を算出することにより、チャックテーブル中心からのワークの位置ずれを検出します。その情報がX・Y軸方向のカット範囲に反映されます。
◆3点エッジアライメントを用いた加工実例
1. 三角チップ飛び対策(カット終了位置補正ソフト)
三角チップ(端材)の発生を抑制するため、ウェーハの外周部手前でカットを止める加工です。
ウェーハの正確な置き位置、直径を認識することで、カット終了位置を狙いの場所に設定することが可能となります。
2. レーザ加工時のテープダメージ対策
レーザ加工の際、ワーク外のテープ部にレーザが照射されると、穴が開き、そこからバキュームがリークすることがあります。ワークの置き位置と直径を認識するエッジアライメントを用いることで、テープ部へのレーザ照射を防ぐことが可能です。
本機能は特殊仕様となります。詳細は弊社営業までお問い合わせ下さい。




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