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アプリケーション実例集


ダイシングソーの顕微鏡ラインアップ
 
ディスコのダイシングソーではお客さまの多様なアライメントターゲットやワーク伸縮などのニーズに対応するため、さまざまな顕微鏡をラインアップしています。

ダイシングソーに搭載される顕微鏡は「マクロ顕微鏡」と「ミクロ顕微鏡」の二種類に大別されます。

◆マクロ顕微鏡の特徴
ディスコのダイシングソーでは、オプション搭載としている場合が多い
広範な視野での確認が可能なため、アライメントターゲットを見つけやすく、θ合わせも容易

◆ミクロ顕微鏡の特徴
ディスコの全てのダイシングソーに標準搭載されている
ウェーハパターンを大きく拡大することができるため、詳細の状態を確認できる

◆ミクロ&マクロ顕微鏡併用の特徴
アライメント時間の短縮
ウェーハパターンを大きく拡大することができるため、詳細の状態を確認できる
マクロ顕微鏡で先に粗合わせをすることによって、ミクロ顕微鏡でのアライメントが容易になる
(θ軸粗合わせ、ターゲットの確認など)
操作性アップ
マクロ顕微鏡でワークを広範囲で確認できるため、探したいターゲットを容易に見つけることができる
マクロ顕微鏡で見つけたいターゲットに移動した後、ミクロ顕微鏡に切り替えてより詳しく確認することができる
◆参考写真(DAD3350)
マクロ顕微鏡
マクロ顕微鏡
ミクロ顕微鏡
ミクロ顕微鏡

ターゲットサイズやワークの特徴にあわせて顕微鏡をお選びください。
アプリケーション開発部では無償でテストを実施しております。






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