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アプリケーション実例集


形状認識による異形ウェーハの加工について
 
通常、ダイシングソーは、円か四角の形状のワークを加工します。そのため、三角形や割れたウェーハなどの異形ワークでは、無駄な加工をしてしまうことがあります。そこで、ダイシングソーに形状認識ユニットを搭載すると、異形ワークでも形状を正確に認識できるため、最適なストロークで加工し、スループット向上が可能です。形状認識ユニットはオプションで搭載可能です。


◆加工事例
異形のワークを最適なストロークで加工したい場合に、形状認識ユニットを使用します。
以下は、弊社装置において、CCDカメラを用いて形状認識を行っているときの画像です。
Photo1:形状認識の様子
標準カメラ
装置によって形状認識ユニットの搭載可否がございますので、弊社営業までお気軽にご相談ください。







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