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アプリケーション実例集


6inch GaAsウェーハテープ固定薄化の実績
 
GaAsウェーハテープ固定での加工メリットは以前(2010年11月更新)紹介しましたが、今回は6inch GaAsウェーハテープ固定薄化の実績を紹介します。


◆加工実例
6inch GaAsウェーハテープ固定で90µm仕上げは問題なく加工可能です。搬送も問題なく可能です。使用ホイールは粗研削#600、仕上げ研削#4800となります。

◆面粗さ(仕上げ研削後)




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