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アプリケーション実例集


InP(インジウム燐)の高品質加工
 
ホイール、加工条件の最適化により、高速デバイス等に用いられるInP(インジウム燐)の高品質加工が可能です。
最適な加工条件の選択により、従来と比較して加工面の状態が改善しています。
改善前 改善後
改善前の加工面 改善後の加工面
Fig1. 加工面の顕微鏡写真
 3インチInPウェーハ加工後(加工条件最適化後)の面粗さ
参考.) 3インチInPウェーハ加工後(加工条件最適化後)の面粗さ
面粗さRa:0.004μm
面粗さRy:0.033μm




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