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ウェーハエッジチッピング改善 -仕上げ研削量違い-

アプリケーション加工実例

ウェーハエッジチッピングは、ウェーハの強度低下や割れの要因となります。
仕上げ研削時の研削量を適正化することで、粗研削時に発生した大きいチッピングを除去することができます。

  • 仕上げ研削量が少ない場合

    仕上げ研削量が少ない場合
    粗研削時のチッピングが残留
  • 仕上げ研削量が適量の場合

    仕上げ研削量が適量の場合
    粗研削時のチッピングの除去が可能

仕上げ研削量の適正化は、チッピング数・サイズ双方の低減に効果的です。


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株式会社ディスコ 営業本部 国内営業部

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