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アプリケーション実例集


ウェーハエッジチッピング改善 -仕上げ研削量違い-
 

ウェーハエッジチッピングは、ウェーハの強度低下や割れの要因となります。
仕上げ研削時の研削量を適正化することで、粗研削時に発生した大きいチッピングを除去することができます。

仕上げ研削量が少ない場合 仕上げ研削量が適量の場合
仕上げ研削量が少ない場合
粗研削時のチッピングが残留
仕上げ研削量が適量の場合
粗研削時のチッピングの除去が可能

仕上げ研削量の適正化は、チッピング数・サイズ双方の低減に効果的です。


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