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TAIKO研削-中心ずらし研削について-
 
TAIKO研削とは、当社が開発したウェーハバックグラインディング技術です。ウェーハ裏面外周部を3mmほど残して内側のエリアのみを研削することで、反りによる割れや欠けを防止します。

今回はTAIKO研削の応用例として、中心ずらし研削をご紹介します。



◆中心ずらし研削とは?
研削位置を調整して、ウェーハの中心位置と研削位置の中心をずらしておこなう研削

◆中心ずらし研削のメリット
この研削方法を応用することにより、TAIKO研削ではオリフラウェーハの有効エリアを拡大することが可能です。

◆中心ずらし研削 加工例
6inchウェーハ(ショートオリフラ)の場合の加工例をご紹介します。
(使用機種:DAG810 TAIKO仕様)
Fig.1 通常研削
Fig.2 中心ずらし研削




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