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アプリケーション実例集


BGテープ表面平坦化によるTTV向上
 

パターンの凹凸が大きいウェーハにBGテープを貼り付ける場合、テープ面に凹凸が発生します。この凹凸が研削後のウェーハに転写し、TTVが悪化する場合があります。
凹凸の発生したBGテープ表面を平坦化することで、研削後のTTVを向上できます。

<プロセスフロー、および実験結果>
ステップ 研削のみの加工 BGテープ表面平坦化
+研削の加工
-
BGテープ
貼り付け
BGテープ面に凹凸が発生する
BGテープ表面の
平坦化
-
研削
研削後のTTV
BGテープの凹凸がウェーハに転写し、TTVが悪化
BGテープに凹凸がないため、研削後ウェーハのTTVが向上
本機能は特殊対応となります。詳細は弊社営業までお問い合わせください。

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