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BGテープ表面平坦化によるTTV向上

アプリケーション実例集

パターンの凹凸が大きいウェーハにBGテープを貼り付ける場合、テープ面に凹凸が発生します。この凹凸が研削後のウェーハに転写し、TTVが悪化する場合があります。
凹凸の発生したBGテープ表面を平坦化することで、研削後のTTVを向上できます。

<プロセスフロー、および実験結果>

ステップ 研削のみの加工 BGテープ表面平坦化+研削の加工
-
BGテープ貼り付け BGテープ面に凹凸が発生する
BGテープ表面の平坦化 -
研削
研削後のTTV

BGテープの凹凸がウェーハに転写し、TTVが悪化

BGテープに凹凸がないため、研削後ウェーハのTTVが向上

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株式会社ディスコ 営業本部 国内営業部

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