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アプリケーション実例集


研削ダメージによる反りについて
 
ウェーハの反りは、ウェーハ表裏面のストレス不均衡が起因となり発生します。
強い反りは、加工中のバキュームリークやハンドリング時の吸着不足によるウェーハ落下の原因となります。裏面研削ダメージのストレスが表面よりも大きい場合の反りを順反りと呼び、表面を下にして凸方向の反りが発生します。また、凹方向の反りは逆反りと呼びます。

ここでは、研削ダメージによる反り量について説明します。



◆研削ダメージによる反りのイメージ (反りの方向:順反り)

◆研削ダメージ(砥粒経別)による反り量



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