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ダイシングソー用超小型純水リサイクル装置「DWRシリーズ」

メリット3:節水
DWRシリーズ導入のメリット×10
③ 節水
市水など不純水から純水を製造する際、イオンや塩類、パーティクルの除去には逆浸透膜が用いられます。逆浸透膜で不純水を濾過する際は圧力を掛ける必要があります。不純水側の塩類濃度が上昇するほど、高い圧力が必要となり設備コストが上昇するため、現実的には1/3を純水向けに取り出し、残りの2/3は廃水とするのが一般的です。
このため、全量排水型の純水プラントを用いて、ダイシングソーに12 L/minの純水を供給しようとした場合には、36 L/minの市水が必要となります。
また、従来ある循環型の純水プラントではパーティクル除去にクロスフロー方式のフィルタを使用しているため、純水回収率が90%程度にとどまるのが一般的です。12 L/minの純水を供給しても1.2 L/minの廃水が生じてしまうため、同量の純水を追加する必要があります。同じく1.2 L/minの純水を作るためには、3倍の3.6 L/minの市水が必要となります。

DWR1722では全量を循環しますが、ダイシングソー内でミストとなりダクトで吸引されてしまう分、0.5%程度-0.06 L/minの純水が消費されます。これも同じく追加するためには、3倍の0.18 L/minの市水を必要とします。
これらをまとめると、全量排水型の純水プラントにくらべ、DWR1722での市水の消費量は約1/200、循環型の純水プラントと比較しても1/20と大幅な節水を実現します。


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