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ダイシングソー用超小型純水リサイクル装置「DWRシリーズ」

メリット4:省エネ
DWRシリーズ導入のメリット×10
④ 省エネ
省エネルギーの一例として、温度調整の消費電力を紹介します。
一般的に、純水は市水や工業用水から作られており、これらの供給水は季節ごとに水温が大きく変動します。例えば、東京の水道水は8月に26.5℃、1月に7.5℃となり、温度差は19℃となります。ダイシング時の切削水はクリーンルームの室温に近い温度が推奨されるため、水温調整が必要です。

全量排水型の純水プラントの場合は一度に大量の水がタンクに追加されるため、水温を一定にするにはチラーとヒータを備えた温調ユニットが必要で、消費電力も大きくなります。
また、従来循環型の純水プラントは90%の純水を再生できるため追加供給水の量は少ないですが、純水プラントからダイシングソーまでの距離が長いため、設置環境によっては循環中に温度変動する場合があります。
DWR1722は、リサイクル率が99%と高く、追加供給水はごく少量です。小型でダイシングソーの側に設置できるため、クリーンルーム内への設置が可能です。再生された純水はクリーンルーム内を循環するため、循環中に水温に大きな変動はなく、DWR内の温調ユニットで水温調整をおこないます。
全量排水型 従来循環型 DWR1722
リサイクル率 90% 99%
追加する供給水
全量排水を1とした場合
1 0.1 0.01

DWR1722は温度調整の消費電力を大幅に削減でき、全量排水型のプラントと比較して10分の1、従来循環型と比較しても6分の1に省エネルギーが可能です。

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