DISCO
Japanese Chinese Traditional Chinese Simplified Korean English
サイトマップ
会社情報 株主・投資家情報 CSR情報 採用情報
HOMEニュースリリースソリューション製品情報カスタマーサポートお客さまの満足のためにお問い合わせ
ディスコHOME > ソリューション > Kiru・Kezuru・Migaku特集 > ダイシングソー用超小型純水リサイクル装置「DWRシリーズ」 > メリット5:ダイシングソーからの排水ゼロ

ソリューション


ダイシングソー用超小型純水リサイクル装置「DWRシリーズ」

メリット5:ダイシングソーからの排水ゼロ
DWRシリーズ導入のメリット×10
⑤ ダイシングソーからの排水ゼロ
ダイシングではブレード冷却やウェーハ洗浄用の純水が不可欠で、一般的なダイサーでは使用後の水を毎分10L程度、排水する必要があります。そのためダイシングソーを設置する際は、排水を工場内の純水循環プラントへ戻すための配管設備が必要となり、排水口がない場所でダイシングソーを使用することができませんでした。
更に、一般的な循環型純水プラントの場合は、クロスフロー方式フィルタでのパーティクル除去により、リサイクル時に10%程度の廃水が発生します。これはシリコン屑をはじめとする成分が濃縮された廃液で、そのまま下水道に流せないケースもあります。

DWRは、ダイシングソーの横に設置するだけで切削排水を全てリサイクルします。回収用の配管が不要となるので、装置の設置場所を選びません。また、独自のCC Filterによるデッドエンドろ過方式でパーティクルを除去し、排水の99.5%はリサイクル、残りの0.5%はミストとなってダクトに吸引されるため、純水リサイクル時の廃液が発生しません。
循環型純水プラント DWR
配管設備 必要 不要
フィルタ方式 クロスフロー方式 デッドエンドろ過方式
フィルタ構造

またDWRは、脱水・凝縮された切削屑をCC Filterごと通常の産業廃棄物として処理できるので、廃棄にかかる手間とコストが大幅に削減できます。CC Filter自体には、特別な処理が必要な素材は使っておらず、焼却してもダイオキシンなどの有毒物質が発生しません。切削排水中に含まれるウェーハ加工屑の材質に応じ、産業廃棄物として処理頂くことが可能です。

GaAsなど毒性の高いウェーハを加工した際の切削排水も、CC Filterで回収する事で特殊な廃液処理が不要となります。また、切削排水に含まれるレアメタルをCC Filterごと回収する事もできます。このようにDWRは、従来の設備での排水処理が導入障壁となっていたケースにも有効です。

お問い合わせ
本件に関するお問い合わせは、ディスコ担当営業、もしくは へご連絡ください。
ソリューション

Kiru・Kezuru・Migaku特集
 
 
アプリケーション実例集
 
 
DISCO Technical Review
 
 
ソリューションサポート
 
 

KABRA レーザエンジニア募集中(キャリア採用)
中古半導体製造装置
個人情報保護方針
利用規約
弊社の社名利用について
古物営業法に基づく表示
弊社製品の使用に対する補償ポリシー
このページのトップへ