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ダイシングソー用超小型純水リサイクル装置「DWRシリーズ」

メリット7:簡単移設
DWRシリーズ導入のメリット×10
⑦ 簡単移設
 
ダイシングソーとともに移設
シリコンウェーハのダイシングでは純水を多量に使用します。そのため、ダイシングソーを工場間で移設する際は純水供給環境を整えなくてはなりません。
一般的に、純水プラントは大型で、移設することはありません。仮に、純水製造装置や濾過装置などの機器だけを移設する場合でも、純水供給・排液回収の配管や回収水槽などを新設することが必要となり、コスト低減は困難です。
一方DWRはサイズが小さいため、ダイシングソーとセットで、国内はもちろん海外へも移設が可能です。これにより、移設前と同品質の純水を使用した加工を実現します。水抜きとフィルタ交換の簡単な作業で装置を立ち下げでき、装置立ち上げも半日~1日で対応できます。
 
工場内の設置自由度
DWRはダイシングソーからの切削排水をほぼ100%純水にリサイクルし、切削排水がゼロになるため、純水プラントに排水を回収する配管などが不要となります。ダイシングソーとDWRのみで独立した純水供給環境を構築できるため、これまで純水供給が困難だったエリアにも、ダイシングソーを配置することができます。
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