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レーザステルスダイシングアプリケーション

ステルスダイシングとは?
レーザをワーク内部に集光することで内部に改質層を形成し、テープエキスパンド等にてチップ分割をおこなうダイシング手法
ステルスダイシング概略図
ステルスダイシング概略図
テープエキスパンド前
テープエキスパンド前
テープエキスパンド後
テープエキスパンド後
ステルスダイシングのメリット
ワークの内部を改質するため、加工屑の抑制が可能。汚れに弱いワークに適しています
負荷に弱いワーク(MEMSなど)に適した、洗浄不要のドライプロセスです
カーフ幅を細くできるため、ストリートリダクションに大きく貢献します
ステルスダイシングの加工事例
【MEMSダイシング】
複雑な微小素子が既に組み込まれているチップや、中空部がある構造のチップ等、MEMSチップの切り出しは、一般的には洗浄水や加工負荷に対してあまり強くありません。ステルスダイシングは、加工・洗浄に水を使用しない上、チップの表裏面へのダメージもほぼないため、高品質なMEMSの加工が期待できます。
ステルスダイシング後のMEMS写真
ステルスダイシング後のMEMS写真
【ストリートリダクション】
ステルスダイシングでは、ストリート幅(カット幅)を狭くすることが可能であるため、通常のダイシングと比較して、1ウェーハ内でのチップ取れ個数の向上が期待できます。ラインセンサー等の長尺形状チップに、特に有効な手法です。
チップ取れ個数のシミュレーション
長尺形状チップのウェーハでのストリートリダクションによる、チップ取れ個数向上例
チップ取れ個数のシミュレーション
【Hasen Cut】
Hasen Cutとは、レーザ加工中に、設定した周期でレーザ光のON/OFFを繰り返しながらカットする方法です。ON/OFFの設定次第で、さまざまな形状に加工することが可能です。
Hasenカット
Hasen Cutの適用例
◆規則性がある複合チップサイズのウェーハカット
Hasen Cutを利用することで、従来のレーザフルカット加工やブレードダイサでは実現できなかった、 不規則なチップ形状の組み合わせのウェーハを加工することが可能です。
規則性がある複合チップサイズのウェーハカット
◆異形状チップの加工
6角形、8角形・・・等の多角形のチップでも、無駄なく加工することが可能です。また、正多角形でなくとも、条件次第で加工できる場合もあります。
異形状チップの加工
6角形チップの加工写真
6角形チップの加工写真
◆チップオフセット加工
下図のように、Hasen Cutを応用することで、ダイシングストリートが断続的になるチップレイアウトにも対応ができます。これにより、特に1チップが大きく高価なウェーハや、長尺チップの場合などに、ウェーハを有効に活用し、チップ取れ個数を増やすことができます。
チップオフセット加工
ステルスダイシング対応装置
DFL7340
DFL7340
・φ8”まで対応
・フレーム搬送タイプ
DFL7360
DFL7360
・φ12”まで対応
・ウェーハ直搬送タイプ


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