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디스코HOME > 제품정보 > 주변장치 > 다이싱쏘 전용 비저항값 조정장치 -Resistivity Management Unit-

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다이싱쏘 전용 비저항값 조정장치 -Resistivity Management Unit-

CO2인젝터는 다이싱 중에 발생하는 피절삭재에 정전기의 잔류를 저감시켜, 파티클 부착 및 디바이스의 정전파괴를 억제하는 장비입니다.
공급되는 순수의 비저항값을 내리기 위해, 절삭수 중에 산화가스를 용해하여 설정한 비저항값으로 조절합니다.


신개발 CO2혼입(멀티 스테이지 믹싱)방식으로, 절삭수의 유량 변동에도 영향받지 않고 비저항값을 안정시킬 수 있습니다. 또한, 다이싱쏘의 화면상에서 비저항값 설정을 비롯하여 각종 파라미터의 입력, 알람의 집중제어 등을 실행할 수 있으며, DFD6000시리즈의 장치에 내장 가능한 공간절약 설계입니다.

대응장치: 다이싱쏘

CO2인젝터
표준사양 저 비저항사양
CO2인젝터 CO2인젝터
비저항값 설정범위(MΩ•cm) 0.5 - 1.0 0.2 - 0.6
비저항값 변동폭* 목표 비저항치
±10 % 이내
목표 비저항치
±0.06 MΩ•cm 이내
특징 절삭수의 비저항값을 항시 감시하여, 목표 비저항값으로 맞춤제어를 실행합니다. 또한, 다이서의 풀 오토 개시시/매장 커팅 종료시/에러 발생시의 비저항값을 로깅 가능한 프로세스 관리에도 유효합니다.
* 통수유량은 3~15L/min의 범위 내로 일정한 수치를 유지하며, 공급수온 20~25°C의 경우
* 장비의 사진을 클릭하시면 제품카탈로그(PDF)가 열립니다
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