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디스코HOME > 제품정보 > 주변장치 > 오토매틱 웨이퍼 세정장치 -Automatic Cleaning System -

제품정보


오토매틱 웨이퍼 세정장치 -Automatic Cleaning System -

다이싱쏘로 절단된 웨이퍼나 글라스 기판, 세라믹 등의 세정을 목적으로 한 장치입니다. 세정, 린스(옵션), 건조의 각종 설정을 실행할 수 있습니다. 세미 오토 다이싱쏘와 조합하여 사용 가능합니다.

  DCS1440
DCS1440 카탈로그
DCS1460
DCS1460 카탈로그
DCS141
생산종료
DCS1440
DCS1460
DCS141
사양
대응 웍 사이즈 ø8"/250 mm각 ø300mm/310 mm각 ø8"
최대 대응가능 프레임 사이즈 DTF2-5, DTF2-6, DTF2-6-1, DTF2-8-1, DTF2-5-1* DTF2-8-1, DTF2-12, DTF2-12-1, (DTF2-5, DTF2-5-1, DTF2-6, DTF2-6-1)* 2-5, 2-6, 2-8
세정방법 고압 세정사양, 2류체 세정사양* 고압 세정사양
테이블 회전 수(min-1[rpm]) 100 - 3,000 0 - 3,000
스피너 압력(MPa) 2.0 - 11.8 2.0 - 12.0
장비 치수(WxDxH)
(mm)
400 x 600 x 1,220 (단, 돌출부, 터치 페널 높이 128mm는 제외) 500 x 650 x 1,220 (단, 돌출부, 터치 페널 높이 128mm는 제외) 400 x 719 x 1,220 (단, 돌출부은 제외)
장비 무게(kg) 약130 (트랜스 있는 경우: 약 164) 약150 (트랜스 있는 경우: 약 184) 약150 (트랜스 있는 경우: 약 170)
특징 옵션으로 더블 암 세정사양의 탑재가 가능하며, 세정 기능이 향상되어 있습니다. 또한, Green조달, RoHS지령에 대응을 하여 Eco friendly한 설계의 장비입니다. DAD300시리즈와 공통인 디자인 콘셉트로 설계되었으며, 오퍼레이션의 간이화, 공간절약화를 실현하고 있습니다.
* 옵션 사양
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