DISCO
Japanese Chinese Traditional Chinese Simplified Korean English
사이트맵
회사정보 주주 투자가 정보 CSR
HOME뉴스 릴리스솔루션제품정보고객 서비스고객만족을 위해문의
디스코HOME > 제품정보 > 주변장치 > 오토매틱 웨이퍼 세정장치 -Automatic Cleaning System -

제품정보


오토매틱 웨이퍼 세정장치 -Automatic Cleaning System -

다이싱쏘로 절단된 웨이퍼나 글라스 기판, 세라믹 등의 세정을 목적으로 한 장치입니다. 세정, 린스(옵션), 건조의 각종 설정을 실행할 수 있습니다. 세미 오토 다이싱쏘와 조합하여 사용 가능합니다.

  DCS1440
DCS1440 카탈로그
DCS1441
DCS1441 카탈로그
DCS1460
DCS1460 카탈로그
DCS1440
DCS1441 DCS1460
사양
대응 웍 사이즈 ø8"/250 mm각 ø8" ø300mm/310 mm각
최대 대응가능 프레임 사이즈 DTF2-5, DTF2-6, DTF2-6-1, DTF2-8-1, DTF2-5-1* 2-8-1 DTF2-8-1, DTF2-12, DTF2-12-1, (DTF2-5, DTF2-5-1, DTF2-6, DTF2-6-1)*
세정방법 고압 세정사양, 2류체 세정사양*
테이블 회전 수(min-1[rpm]) 100 - 3,000
스피너 압력(MPa) 2.0 - 11.8
장비 치수(WxDxH)
(mm)
400 x 600 x 1,220 (단, 돌출부, 터치 페널 높이 128mm는 제외) 400 x 600 x 1,380 500 x 650 x 1,220 (단, 돌출부, 터치 페널 높이 128mm는 제외)
장비 무게(kg) 약130 (트랜스 있는 경우: 약 164) 약150 (트랜스 있는 경우: 약 184)
특징 세정과정의 등록과 각종 세정노즐의 선택등, 다양한 세정기능이 선택가능합니다. 또한, Green procurement와 Rohs지침에 의거하여 환경을 생각한 설계입니다.
* 옵션 사양
Catalog Downloads (English)
문의

Back to Top

제품정보
정밀가공장치
 
 
정밀가공도구
 
 
기타 제품
 
 
Downloads
 
 

KABRA
Equipment Refurbishment
Trade Show Information
Personal Information Protection Policy
User Agreement
Use of the DISCO Corporate Name
Guarantee policy for customer using DISCO Products
Back To Top