600시리즈 - Fully Automatic Dicing Saw -
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DFD600시리즈는 자재의 반송, 얼라이먼트, 커팅, 세정/건조까지 일관되게 실행하는 풀 오토 다이싱쏘입니다. DFD651, DFD691은 스핀들이 병렬로 배치되어 있는 패러렐 듀얼 구조로 되어 있으며, 두개의 스핀들을 사용한 듀얼 스핀들 어플리케이션(스텝 커팅, 베벨 커팅, 듀얼 커팅)이 가능합니다.
또한, 실리콘 웨이퍼 절단 이외에도, 세라믹 절단이나 패키지 싱귤레이션(분할) 등 폭 넓은 분야에서 활용되고 있습니다.
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DFD641 / DFD651
생산종료 |
DFD681 / DFD691
생산종료 |
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| 최대 대응 웍 사이즈 |
ø 203.2 |
| 대응 프레임 |
2-6, 2-8 |
| X축 |
절삭 가능범위(mm) |
210 |
| 공급속도 입력범위(mm/s) |
0.1 - 450 |
| Y축 |
절삭 가능범위(mm) |
210 |
| 인덱스 스텝(mm) |
0.0001
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| 위치결정 정밀도(mm) |
0.003이내/210
(단일 오차) 0.002이내/5 |
| 스케일 분해능(mm) |
0.0002 |
y축
(DFD651,691） |
유효 스트로크(mm) |
26 |
| 위치결정 정밀도(mm) |
0.002이내/26 |
| 스케일 분해능(mm) |
0.0002 |
| Z1·Z2축 |
유효 스트로크
(mm) |
7.2 (ø 2"블레이드의 경우) |
15.9 (ø 3"블레이드의 경우) |
이동 분해능
(mm) |
0.00025 |
반복 정밀도
(mm) |
0.001 |
| 사용 블레이드 최대구경(mm) |
ø 55.56 |
ø 76.2 |
| θ축 |
최대 회전각도
(deg) |
380 |
| 스핀들 |
정격출력
(kW) |
1.0 at 60,000 min-1 |
2.2 at 30,000 min-1 |
정격토크
(N・m) |
0.16 |
0.70 |
회전 수 범위
(min-1) |
6,000 - 60,000 |
3,000 - 30,000 |
장비 치수(WxDxH)
(mm) |
DFD641：1,185 x 1,168 x 1,235
DFD651：1,350 x 1,168 x 1,235 |
1,350 x 1,168 x 1,235 |
장비 무게
(kg) |
DFD641：약1,000
DFD651：약1,300 |
약1,300 |
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본 사양은 개량을 위해, 사전통보 없이 변경될 수 있습니다. 발주시에는 사양 확인하시기 바랍니다.
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