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Gettering DP

Gettering DP
웨이퍼의 극박화에 따라Gettering효과의 저하가 염려되고 있습니다. GDP(Gettering Dry Polish)는 디스코의 독자적인 드라이 폴리싱 프로세스를 이용하여 높은 항절강도와Gettering효과의 양립을 실현하는 새로운 솔루션입니다. chemical free 프로세스이므로 환경부하가 적고 슬러리를 사용하는 프로세스에 비해 용이한 오퍼레이션으로 박막 웨이퍼 연마를 실현합니다.

특 징
  • 통상의 연삭과 동등한Gettering효과를 유지
  • 슬러리가 필요 없어 환경부하가 적은 프로세스
  • 독자적인 드라이 폴리싱 프로세스에 의해 높은 항절강도를 실현
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자세한 사양 혹은 기능에 대해서는 카탈로그를 확인 바랍니다.
Gettering DP Catalog (PDF:565KB)
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