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정밀가공장치

다이싱쏘, 커팅쏘
다이싱쏘,커팅쏘
다이싱쏘(Dicing Saw)는 실리콘, 글라스, 세라믹 등을 미크론 단위의 정밀도로 절단하는 장치입니다.커팅쏘(Cutting Saw)는 자기 헤드와 같은, 보다 높은 정밀도가 요구되는 절단가공에 사용됩니다.
레이저쏘
레이저쏘
레이저쏘(Laser Saw)는 종래의 블레이드 다이싱 만으로는 가공이 어려웠던 소재나 디바이스의 가공을 레이저에 의한 풀 커팅이나 그루빙 프로세스로 고속, 고품질로 가공하는 장치입니다.
그루빙
그루빙
그라인더는 실리콘 웨이퍼나 화합물 반도체 등 다양한 소재의 씬 웨이퍼 연삭(Finishing)을 고정밀도로 실행하는 장치입니다.
폴리셔, 드라이 에쳐
폴리셔, 드라이 에쳐
드라이 폴리셔(Dry Polisher)는 환경부하를 크게 저감할 수 있는 완전 건식연마로, 웨이퍼 표면의 가공굴곡을 제거하는 장치입니다.
드라이 에쳐는 플라스마에 의한 사이드 에칭 효과로, 비약적으로 항절강도를 고조시킬수 있습니다.
다이 세퍼레이터
다이 세퍼레이터
DDS2300은 박막 칩의 적층에 필수적인 DAF (Die Attach Film)을 고품질로 분할 가능합니다.
표면 평탄화 연삭기
표면 평탄화 연삭기
연성재료(Au, Cu, 납땜등), 수지(포토레지스트, 폴리이미드 등), 및 이들의 복합 재료등을 다이아몬드 바이트를 사용하여 고정밀도로 평탄화하는 장치입니다.
워터제트쏘 장비
워터제트쏘 장비
DAW4110는 승압된 물과 함께 노즐에서 토출되는 연마재가 소재를 절단합니다 고품위의 비열 곡선가공을 실현하는.
신 프로세스 대응제품
신 프로세스 대응제품
다이싱이나 그라인딩 프로세스뿐만 아니라 주변 프로세스의 소재 메이커나 장치 메이커와 공동개발을 하여 고객에게 필요한 범위의 제조 프로세스를 제안하고 있습니다.

정밀가공도구

다이싱 블레이드
다이싱 블레이드
다이싱쏘, 커팅쏘에 장착하여 실리콘 웨이퍼를 비롯하여, 다양한 피가공물을 절단, 홈 형성하는 등 [Kiru(절단)] 가공을 하는 제품입니다.
그라인딩 휠
그라인딩 휠
그라인더에 장착하여 실리콘 웨이퍼나 화합물 반도체 웨이퍼 등을 얇고 평탄하게 하는 [Kezuru(연삭)] 가공을 하는 제품입니다.
드라이 폴리싱 휠
드라이 폴리싱 휠
폴리셔에 장착하여 백 그라인딩 후의 미세한 연삭 파괴층을 제거하는(스트레스 릴리프) [Migaku(연마)] 가공을 하는 제품입니다.
제한 회전수에 대하여

기타 제품

주변장치
주변장치
보다 고정밀도로 안정된 연삭 절단가공 결과를 고객께 제공하기 위해, 주변장치의 제품개발에도 노력을 기울이고 있습니다. CoO의 향상과 친환경 설계를 채용하고 있습니다.
관련제품
관련제품
디스코에서는 가공품질 향상을 위한 첨가제, 정밀가공장치를 사용하시는데 필요한 관련제품(각종 카세트, 프레임 등)도 제공하고 있습니다.

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자세한 사양 혹은 기능에 대해서는 카탈로그를 확인 바랍니다.
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