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다이싱 쏘용 초소형 순수리사이클 장비「DWR시리즈」

DWR장점×10
3. 절수
불순물이 함유된 시수등으로부터 순수를 제조할경우, 이온이나 염류, 파티클제거를 위해 역침투막이 사용됩니다. 역침투막으로 시수를 여과시에는 압력을 가할 필요가 있습니다. 시수측의 염류농도가 상승할 수록 높은 압력이 필요하고 설비비용도 상승하기 때문에, 현실적으로는 1/3을 순수용으로 배출하고 나머지 2/3는 폐수로 배출하는것이 일반적입니다.
상기와 같은 이유로 전량배수형의 순수플랜트를 이용하여 다이서에 12 L/min의 순수를 공급할 경우, 36 L/min의 시수가 필요합니다.
또한, 종래의 순환형 순수플랜트에서는 파티클 제거를위해 크로스플로(cross flow)방식의 필터를 사용하고 있기때문에 순수의 회수율은 일반적으로 90%정도 입니다. 12 L/min의 순수를 공급하더라도 1.2 L/min의 폐수가 발생하므로 동일량의 순수를 추가해 줄 필요가 있습니다. 동일하게 1.2 L/min의 순수를 제조하기 위해서는 그의 3배인 3.6 L/min의 시수가 필요하게 됩니다.

DWR1722는 전량을 순환하지만 다이서 내부에서 미스트상태로 배기덕트로 흡인되는 0.5%정도의 량-0.06 L/min의 순수가 소비됩니다. 이 소비량을 추가하기 위해서는 이의 3배인 0.18 L/min의 시수가 필요 합니다.
이것을 종합하면, 전량배수형의 순수플랜트에 비해 DWR1722에서의 시수소비량은 약1/200, 순환형의 순수플랜트와 비교하더라도 1/20로 대폭 절수를 실현 할 수 있습니다.

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