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다이싱 쏘용 초소형 순수리사이클 장비「DWR시리즈」

DWR장점×10
4. 절전
절전의 일례로 온도조정에 관한 소비전력을 소개합니다.
일반적으로 순수는 시수나 공업용수로부터 만들어지는데, 이 공급수는 계절별로 수온이 크게 변동합니다. 예를 들 어 동경의 수도수는 8월에 26.5℃, 1월에 7.5℃이며 이 온도 차는 19℃가 됩니다. 다이싱 공정의 절삭수는 클린룸의 실온에 가까운 온도를 권장하므로 수온 조정이 필요합니다.

전량배수형의 순수플랜트의 경우에는 한 번에 대량의 물이 탱크에 추가되기 때문에 수온을 일정하게 하기위한 칠 러와 히터가 장착된 온조 유닛이 필요하며 소비전력도 증가합니다.

또한, 종래의 순환형 순수플랜트는 90%의 순수를 재생할 수 있으므로 추가공급수의 양은 적지만 순수 플랜트 에서 다이싱쏘까지의 거리가 멀기 때문에 설치환경에 따라서는 순환 중에 온도가 변할 수 있습니다.

WR1722는 리사이클율이 99%로 높으며 추가공급수는 극소량입니다. 소형으로 다이싱쏘의 옆에 설치할 수 있기 때문에 클린룸 내에 설치할 수 있습니다. 재생된 순수는 클린룸 내를 순환하므로 순환 중에는 큰 수온변화가 없고 DWR내의 온조 유닛에서 수온을 조정합니다.
전량배수형 종래의 순환형 DWR1722
리사이클율 90% 99%
추가 공급수
전량배수형을 1로 할 경우
1 0.1 0.01

DWR1722는 온도조정에 관한 소비전력을 대폭 삭감할 수 있으며, 전량배수형의 플랜트와 비교하여 10분의 1로, 종래순환형과 비교하여도 6분의 1로 절전 가능합니다.

문의
본호에 관한 문의는 폐사 담당영업 또는으로 연락바랍니다.
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