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다이싱 쏘용 초소형 순수리사이클 장비「DWR시리즈」

장점5: 다이싱쏘의 배수 제로
DWR장점×10
5. 다이싱쏘의 배수 제로
다이싱 장비는 블레이드의 냉각과 웨이퍼 세정용으로 순수가 필요하며, 일반적인 다이서에서는 사용후의 물을 매분 10L정도 배수할 필요가 있습니다. 따라서 다이싱쏘를 설치할 경우에는 배수를 공장내의 순수 순환플랜트에 공급하기 위한 배관설비가 필요하며 배수구가 없는 장소에서는 다이싱 쏘를 사용할 수 없었습니다.
또한 일반적인 순환형 순수플랜트의 경우에는 크로스플로(cross flow) 방식의 필터로 파티클을 제거하므로 리사 이클시에10%정도의 폐수가 발생합니다. 이것은 실리콘 절삭 잔여물을 포함한 성분이 농축된 폐액으로 그대로 하 수도에 방류할 수 없는 경우도 있습니다.

DWR을 다이싱쏘의 옆에 설치하는 것 만으로 절삭배수를 전부 리사이클 합니다. 회수용 배관이 필요없어 장비의 설치장소에 제한을 두지 않습니다. 또한 독자적인CC Filter의 Deadend여과 방식으로 파티클을 제거하며 배수의 99.5%는 리사이클, 나머지0.5%는 미스트상태로 배기덕트에 흡인되므로 순수 리사이클시에 폐액이 발생하지 않 습니다.
순환형 순수플랜트 DWR
배관설비 필요 불필요
필터방식 Cross Flow방식 Deadend 여과방식
필터구조

또한DWR은 탈수・응축된 절삭 잔여물을 CC Filter채로 통상의 산업폐기물로서 처리 할 수 있기 때문에 폐기 비 용과 시간을 대폭 삭감 가능합니다. CC Filter자체에는 특별한 처리를 필요로하는 소재를 사용하고 있지 않으며 소각을 하더라도 다이옥신등의 유독물질이 발생하지 않습니다. 절삭배수 중에 포함된 웨이퍼의 가공 잔여물의 재 질에 따라서는 산업폐기물로서 처리할 수 있습니다.

GaAs등의 독성이 높은 웨이퍼의 절삭배수도 CC Filter로 회수하면 특수한 폐액처리가 필요 없어 집니다. 또한 절삭배수에 포함된 레어메탈을 CC Filter채로 회수할 수도 있습니다. 이와 같이 DWR은 종래의 설비에서는 도입 장벽이 되 왔던 경우에도 유효합니다.

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