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다이싱 쏘용 초소형 순수리사이클 장비「DWR시리즈」

장점7: 간단이설
DWR장점×10
7. 간단이설
다이싱장비와 셋트로 이설
Si웨이퍼 다이싱 공정에서는 대량의 순수를 사용하므로 다이싱장비를 다른 공장으로 이설할 경우 순수 공급 시설을 준비해야만 합니다.
일반적으로 대형의 순수 플랜트는 이설을 하지 않습니다. 가령, 순수 제조장비와 여과장비 만을 이설 할 경우라도 순수 공급 및 폐수처리용의 배관과 회수탱크 등을 설치해야 하므로 경비를 절감 하기 어렵습니다.
한편DWR은 소형이므로 다이싱장비와 함께 셋트로, 국내는 물론 해외로도 이설 가능합니다. 이설 전과 동일한 품질의 순수를 사용한 가공을 실현할 수 있습니다.
공장내 설치 자유도
DWR은 다이싱 장비의 절삭폐수를 거의100% 순수로 리사이클하여 절삭폐수가 발생하지 않기 때문에 순수 플랜트로 폐수를 회수하기위한 배관이 필요 없습니다. 다이싱 장비와 DWR만으로 독립된 순수 공급 환경을 구축할 수 있기 때문에 지금까지 순수 공급이 용이하지 않았던 장소에도 다이싱장비를 설치할 수 있습니다.
문의
본호에 관한 문의는 폐사 담당영업 또는으로 연락바랍니다.
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