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평탄화 장비에 의한 절삭 평탄화

연성 재료(Au, Cu, 납땜 등), 수지(포토레지스트, 폴리이미드 등) 및 이들의 복합 재료를 다이아몬드 바이트를 사용하여 고정밀 평탄화하는 표면 평삭기 “DFS8910”을 개발하였습니다.
평탄화 장비의 특징
다이아몬드 바이트를 사용한 고정밀의 표면 평탄화가 가능합니다.
절삭에 의한 가공이므로 수지나 금속 등의 복합 재료에도 고품질의 가공을 할 수 있습니다.
CMP의 공정을 일부 대체함으로써 생산성 향상및 코스트 저감을 할 수 있습니다.
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평탄화 장비의 가공 사례
금속 코팅 범퍼의 절삭(액정 드라이버 IC)
DFS8910로 범퍼를 절삭함으로써 범퍼의 오목한 부분 및 한쪽으로 치우친 형상을 제거할 뿐 아니라 범퍼 높이 편차 및 표면 거칠기 문제도 해결할 수 있습니다. 그럼으로써 범퍼 표면의 ACF(Anisotropic Conductive Film: 이방성 도전 필름) 유효 포착 면적을 확대할 수 있습니다.
금속 코팅 범퍼의 절삭(액정 드라이버 IC)
Cu 범퍼와 포스트 일괄 절삭(포스트 단부 노출)
Cu 포스트가 매립된 수지를 절삭하여 포스트 단자 상면의 노출을 수행합니다. 포스트 상면을 평탄화 함으로써 다른 디바이스와의 접속 신뢰성이 향상됩니다. 또한 납땜 범퍼를 수지째로 평탄화해서 단부 노출을 수행하는 방법도 검토하고 있습니다.
Cu 범퍼와 수지의 일괄 절삭(포스트 단부 노출)
절삭 전
절삭 전
절삭 후
절삭 후
CMP 공정의 대체
웨이퍼에 형성된 Cu 배선과 절연 필름을 일괄적으로 평탄화해서 그 위에 배선층을 적층하는 프로세스에서는 통상적으로 평탄화에 CMP를 사용하고 있습니다. 이 프로세스에 DFS8910을 사용하면 CMP보다 작업 처리량이 향상됩니다. 뿐만 아니라 현탁액을 사용하지 않으므로 폐수 처리의 경비나 환경에의 부하도 줄일 수 있습니다.
CMP 공정의 대체
기타 가공 사례
◆납땜 범프의 품질 확인
납땜 범퍼의 결함 검사에는 주로 X선을 조사해서 얻어지는 투과 화상으로 결함의 유무를 판정하고 있습니다. DFS8910를 사용하면 직접 범퍼를 절삭함으로써 납땜 범퍼 내부에 발생한 실제 결함 상태를 확인할 수 있습니다.
절삭 전
절삭 전
절삭 후
절삭 후
◆코팅(Au, Cu) 상태의 개선
전극 등에 전기 코팅을 하면 코팅의 성장에 편차가 생겨서 굴곡이 있는 불균일한 표면이 됩니다. 이러한 코팅 면을 DFS8910로 절삭함으로써 균일하고 평탄한 표면 상태로 만들 수 있습니다.
절삭 전
절삭 전
절삭 전
절삭 후
절삭 후
절삭 후
장치
풀오토 평탄화 장비DFS8910
DFS8910
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